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壓差計壓差計 壓差計多用于測量兩個不同點處壓力之差的測壓儀表。目前常用的有雙波紋管差壓計、膜片式差壓計以及單元組合儀表的差壓變送器等。當氣體流經壓差計管道內的節流件時，流速將在節流件處形成局部收縮，因而流速增加，靜壓力降低，于是在節流件前后便產生了壓差。流體流量愈大，產生的壓差愈大，這樣可依據壓差來衡量流量的大小。該測量方法是以流動連續性方程(質量守恒定律)和伯努利方程(能量守恒定律)為基礎。用來檢測潔凈室的壓差計，首先要求量程要小，因為需要檢測的壓力差在幾Pa到幾十Pa之間；其次要求精度要高，能夠準確測量幾帕的壓力差， 再就是要求儀器零點穩定，漂移小，須帶零點校準。 設備性能建議：測量范圍為±250Pa；精度：滿量程的±0.5%.
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